Содержимое
Академик Геннадий Яковлевич Красников прочитал доклад о химии в микроэлектронике В своём докладе глава РАН рассказал, как химия находит применение в микроэлектронной промышленности. Например, развитие микроэлектроники характеризуется уменьшением топологических размеров транзисторов, и для их производства на уровне 28 нм используется ряд технологических жидкостей и газов. Кроме того, к чистым комнатам, где производятся интегральные микросхемы, предъявляются особые требования по отсутствию молекулярных загрязнений в воздушной среде. Академик также подчеркнул, что новые материалы играют важную роль в решении проблем микроэлектроники — использование альтернативных металлов, таких как Ru и Co, способно решить проблему металлизации. Доклад будет доступен в записи после завершения трансляции.